5月29日下午，行知講壇第208講在率水校區(qū)文津樓508舉行。安徽工程大學(xué)王建彬教授應(yīng)邀作題為“先進(jìn)制造技術(shù)之芯片襯底材料的超精密加工”的學(xué)術(shù)報告。機(jī)電工程學(xué)院師生180余人參加報告會。報告由機(jī)電工程學(xué)院院長汪洪峰主持。
針對芯片襯底材料現(xiàn)有的超精密加工工藝難點，王建彬教授提出了固結(jié)磨料研磨拋光工藝的新應(yīng)用，介紹了藍(lán)寶石襯底的加工工藝和機(jī)理研究。固結(jié)磨料技術(shù)的應(yīng)用可從根本上解決游離磨料研磨拋光的不足，切實提高工件加工效率，改善工件面形精度，減少污染，可為藍(lán)寶石晶片的高效優(yōu)質(zhì)生產(chǎn)提供理論指導(dǎo)，具有一定的經(jīng)濟(jì)效益和深遠(yuǎn)的社會意義。
報告會重點討論了藍(lán)寶石晶片研磨工藝的關(guān)鍵技術(shù)并且傳授了長久積累的技術(shù)經(jīng)驗，例如采用細(xì)粒碳化硼和金剛石顆粒鑲嵌的陶瓷研磨盤配合粗磨工藝，可以顯著減少表面損傷并提高加工質(zhì)量，不同研磨參數(shù)對藍(lán)寶石表面粗糙度和去除率的影響等問題。王建彬教授結(jié)合實例展示中國在新型劃切技術(shù)取得的成績。在互動環(huán)節(jié)，同學(xué)們積極提問、交流心得，現(xiàn)場氣氛熱烈而融洽。
王建彬，博士、教授、碩士生導(dǎo)師，日本茨城大學(xué)訪問學(xué)者，中國機(jī)械工程學(xué)會高級會員，日本精密工學(xué)會正會員。近年來主持安徽省自然科學(xué)基金項目、安徽省高校優(yōu)秀青年人才支持計劃重點項目、安徽省教育廳自然科學(xué)基金重點項目、省級重點實驗室開放基金項目等縱向及企業(yè)橫向合作項目20余項，科研到賬經(jīng)費280余萬元。發(fā)表科研論文30余篇，其中被SCI或EI收錄20余篇。獲安徽省科技進(jìn)步獎三等獎1項，授權(quán)專利15件，計算機(jī)軟件著作權(quán)3件。擔(dān)任安徽省、浙江省科技項目評審專家，入選安徽工程大學(xué)中青年拔尖人才培養(yǎng)計劃。
（撰稿：童明勇；攝影：融媒體中心；責(zé)任編輯：趙睛；審核：汪洪峰 徐德平）
